工業(yè)制氧設(shè)備的原理是利用空氣分離技術(shù)，先將空氣進行高密度壓縮，然后空氣中各種成分的凝點不同，使其在一定溫度下與氣液分離，再進一步精餾。

工業(yè)氧氣通常通過這種物理方法獲得。氧氣發(fā)生器也被稱為空氣分離設(shè)備。根據(jù)產(chǎn)品數(shù)量，可分為800m3/h以下的小型設(shè)備；1000-6000m3/h中型設(shè)備；10000m3/h以上的大型設(shè)備，所謂800m3/h和1000-6000 m3/h，是指空分塔制氧裝置每小時的產(chǎn)值。我國制氧設(shè)備一般由空氣壓縮機、預(yù)冷設(shè)備、凈化設(shè)備和空分塔組成。